многослойных структур Ge/Si, (GexSi1-x)/Si и
изоляторе". Похожая схема может быть использована для получения
возможная технологическая схема изго]товления структур "кремний на
молекулярного наслаивания и газового скалывания (smart-cur процесс) (см., например,
пластин кремния с использованием химической сборки поверхно]стей методами
технологические операции и схема процесса производства структур КНИ прямым сращиванием
Ниже рассмотрены различные
ПЛАСТИН КРЕМНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ХИМИЧЕСКОЙ СБОРКИ ПОВЕРХНОСТИ МЕТОДОМ
Комментариев нет:
Отправить комментарий